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​​台积电买下市场上 50% 的 EUV 光刻机,贡献了 60% 的产能

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在本周召开的台积电技术研讨会上,最重要的中心信息之一是,该公司在半导体制造领域处于世界领先地位,特别是在领先的工艺技术领域。

为进一步传达信息,台积电展示了一张幻灯片,指出了它与其他产品的相对位置:通过结合 ASML 的声明和自己的内部采购单,台积电预测他们已安装了全世界约约 50%的激活 EUV 机器。除此之外,该公司还拥有约 60%的 EUV 晶圆累计生产量。

​​台积电买下市场上 50% 的 EUV 光刻机,贡献了 60% 的产能

大型晶圆厂目前已知的公开 EUV 工艺包括 TSMC 的 7+和 N5,以及三星的 7LPP (及以下任何产品),英特尔的 EUV 努力仅在明年进入其自己的 7nm 产品组合。这些流程之外的任何前沿技术都将继续扩大 EUV 的使用范围。

与常规 DUV 机器相比,EUV 机器的吞吐率通常较低,每小时约为 120-175 片晶圆,最新版本可以达到 275 wph,但是由于 1 层 EUV 通常可以代替 3-4 层 DUV,因此吞吐率更高。但是,对于这些代工厂来说,渴望扩展到多个 EUV 机器以增加晶圆的物理数量是一个迫切的目标。

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唯一制造 EUV 机器的公司是 ASML,并且该公司公开宣布其每年销售多少台机器。详情如下:

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请注意,到目前为止,ASML 仍未完全达到其目标,但是已经足够接近实现目标,这表明到 2020 年第二季度末,ASML 仅出货了 13 台,但他们预期是 35 个系统。这些数字包括 ASML 已制造的所有不同类型的 Twinscan NXE 机器,而更新的机器具有更高的吞吐量(有时会翻新一些旧的机器)。截止到 2020 年 Q2,我们预测 ASML 已经发货的 EUV 机接近 71 台,到 2020 年年底,这个数字将有可能达到 90 台,然而 ASML 可能有多达积压 49 EUV 扫描曝光机订单,即使具有这些发货目标。

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如果 ASML 已经出货了 71 台机器,那么根据台积电的数字,这意味着该公司大约有 30-35 台。请注意,TSMC 的数字是针对“已安装的 EUV”机器的。我们获悉,从获取零件到校准机器使用最多需要 6 个月的时间。因此,目前,这些晶圆厂中有一些正在等待安装 EUV 机器,或者在 Intel 的情况下,可能仅用于早期测试或风险前试验。我们知道,GlobalFoundries 拥有两台早期的 EUV 机器,安装了一台,但是当它决定不追求领先的 7nm 时最终出售了这两台机器,其中国内企业订购了一台,但据我们所知,由于美国施加的限制,它没有安装。。

随着台积电为其 N5 生产增加其 Fab 18 的产能,并提高其 EUV 集成度,看看台积电是否受制于其所拥有的机器数量是否受到限制将很有趣。在某个时候,英特尔在部署 7 Nano工艺时也会想购买一个数量(我已经看到英特尔已经至少有 10 台机器,但我无法确认),所以可能会有一个谁先获得订单的争吵。

但是可以肯定的是,ASML 正处于中间位置,垄断着一切。

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转自:半导体行业观察

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